Introducere aplicație
*Manipulare automată a materialelor la marginile firelor semiconductoare
* Potrivit pentru procese cu cicluri de producție libere
* Potrivit pentru situații individuale de flux de materiale
*Este potrivit pentru fluxul de persoane pe sol și manipularea materialelor fără restricții
*Potrivit pentru echipamentele din atelier nu este fix și susține modificarea aspectului
*Se aplică testului Wafer BG WS DB WB TEST final
*Conformitatea cu camera curată ISO14644-14 、 Standardul SEMI S2 și standardele ESD
Sistem de încărcare
Statie cu o singura baterie
Cantitatea de depozitare | 1/2 bin+ 1 coș de schimb |
Clasa curata | clasa 1K |
Sistem de control | PLC |
Sistem de date | BCMS (opțional) |
Timp de înlocuire a bateriei | 3 minute |
Stația bateriei
Cantitatea de depozitare | ≥5 pubele |
Clasa curata | clasa 1K |
Sistem de control | PLC |
Sistem de date | BCMS |
Timp de înlocuire a bateriei | 4 de minute |
Sistem de gestionare a bateriei
Introducere aplicație
*Manipulare automată a materialelor la producția de semiconductori
* Este potrivit pentru cicluri scurte și mai multe situații de producție combinate
*Este potrivit pentru manipulare punct la punct cu volum mare, greutate mare și precizie redusă de andocare
*Potrivit pentru CUPTOR, ardere, coșuri cu suport, suport cutie
*Conformă cu Cleanroom ISO14644-14, Standardul SEMI S2 și standardele ESD
Aplicatii
Lustruirea și transportul napolitanelor
Încărcare și descărcare SMT MGZ
Încărcare și descărcare CUPTOR
Transbordare e-rack
Bloc 4. No.358 Jinhu Road, districtul Pudong, Shanghai, China